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自然掺杂相关论文
自然掺杂p型ZnO薄膜的螺旋波等离子体辅助溅射沉积
本工作通过调整工作气压,采用螺旋波等离子体辅助射频磁控溅射技术在A l2O3衬底上成功的制备了自然掺杂的p型ZnO薄膜。Hall测量显......
期刊
p-ZnO
螺旋波等离子体
自然掺杂
应力
p-ZnO helicon- wave-plasma intrinsic doping strain
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