自由载流子散射相关硕士博士期刊学术论文

采用等离子体增强化学气相沉积和后退火的方法制备了纳米锗/氮化硅（nc-Ge/SiN_x）多层薄膜。借助Raman光谱仪对其微结构进行表征,测得......