自终止腐蚀相关硕士博士期刊学术论文

简述了单昌硅压阻式传声器的结构参数设计和工艺制造技术，采用ｐｎ结自终止电化学腐蚀技术得薄且平整性较好的振膜。测试结果表明：１ｋＨｚ时灵敏......