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自负偏压相关论文
射频辉光放电自偏压对类金刚石碳膜结构和性能的影响
采用高压探头示波器系统研究了射频辉光放电参数对自偏压的影响规律.结果发现自偏压随着射频功率平方根而线性增加,随纯Ar和Ar,C2H......
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自负偏压
射频放电
类金刚石碳膜
RAMAN光谱
高频辉光放电等离子体系统中自负偏压现象的数学解析
讨论了高频辉光放电等离子体繁育中绝缘衬底表面的自负偏压问题,用等效电路方法给出了自负偏压的数学解析。......
期刊
高频放电
等离子体
自负偏压
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