菲索干涉仪相关论文
由于非共光路误差是菲索干涉仪进行高精度检测中最重要的误差因素之一,而非共光路误差是由于非理想的光学系统即干涉仪的出射波前......
本文提出并展示了两种光纤超声传感系统,一种是基于菲索干涉仪的结构,另一种是类萨格奈克干涉仪的结构.当系统中光纤传感器采用长......
多普勒激光雷达测量大气风场主要有两种技术:直接探测技术和相干探测技术。直接探测技术能够同时利用气溶胶和分子的散射信号测量大......
光学干涉测量方法具有全场测量、非接触、精度高等特点,在生产和研究中获得了广泛应用。现代干涉测量技术引入了移相技术来辅助提取......
光纤法珀加速度传感器具有精度高、结构简单、灵敏度高、抗电磁干扰和传输频带宽等优点,在振动测试、地震波监测、航空航天等领域具......
学位
在高精度的光学元件面形检测中,为了保证检测的精度,必须对高精度菲索干涉仪的标准镜的自重和温度变形进行严格地控制。针对高精度......
为了提高球面面形的检测精度,对移相菲索干涉仪的球面测量方法中影响高精度球面面形检测的压电陶瓷晶体(PZT)移相误差和电荷耦合探测......
<正> 一、前言菲索干涉仪对于光学系统中发生的摆振问题是不敏感的,而且它可方便地用于大直径物体表面轮廓的测量。这两个优点对于......
采用Zemax光学设计软件进行干涉模拟,建立传统菲索干涉仪结构;对标准镜调整和面形误差对测量结果的影响做出模拟分析,得出对标准镜......
本文提出并展示了两种光纤超声传感系统,一种是基于菲索干涉仪的结构,另一种是类萨格奈克干涉仪的结构.当系统中光纤传感器采用长......
现有的焦距检测方法通常由于检测仪器光源波长与光学系统不完全匹配从而产生纵向色差影响检测结果。针对这一问题,研究光学系统纵......
干涉测量技术是基于光的干涉原理的一种新型测量方法,它以光的波长为计量单位,因此精度高、分辨率高、稳定性好,在光学加工检测领......
为了实现移相式菲索干涉仪对光学元件面形的高精度测量,建立了干涉仪同步采集移相系统,并对精确移相方法进行了研究。介绍了移相系......
菲索干涉仪通过测量参考面与被测面反射波前相干叠加产生的干涉条纹来获取被测面的面形信息。参考面面形精度和检测环境是影响菲索......
针对利用高精度菲索型干涉仪和旋转平均法对光学元件进行面形绝对检测时对旋转精度的要求,提出了一种旋转误差校正模型来修正面形......