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薄膜厚度监控相关论文
薄膜厚度宽带监控中评价函数的修正
在镀膜过程中,采用宽光谱实时监控薄膜厚度的方法,评价函数的准确计算关系到薄膜厚度的最终监控结果.而薄膜材料的吸收会引起评价......
期刊
宽光谱
薄膜厚度监控
评价函数
吸收
修正
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