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薄膜方块电阻相关论文
铜团簇束在硅上碰撞沉积的薄膜形貌和方块电阻
用一种新型磁控溅射气体凝聚团簇源产生Cu_n~-(n是簇原子个数)团簇束,当团簇束分别在偏压V_α为0,1,3,5,10kV的电场中加速后,在真......
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铜团簇束沉积
单晶硅
薄膜形貌
薄膜方块电阻
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