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薄膜热电阻相关论文
航空关键部件一体化集成薄膜热电阻传感器
在航空航天事业中,为了避免大型事故和损失,各种零部件的工作温度需要有较为严格的控制和检测。为了对航空部件使用过程中的温度变......
学位
薄膜热电阻
薄膜制备
温度电阻系数
轴承
绝缘层
纳米薄膜温度传感器的制备与性能研究
传感器广泛应用于工农业生产和日常生活的所有领域,并伴随着现代科学技术的进步而不断发展。薄膜传感器是随着薄膜技术的成熟而发展......
学位
温度传感器
薄膜热电阻
磁控溅射
薄膜传感器
结构设计
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