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表面光滑化相关论文
硅基光波导的结构优化及表面光滑化机理研究
当前,随着电子信息技术的发展和互联网应用的兴起,传统的半导体材料和制造工艺已经无法满足芯片的集成度要求和性能指标。硅光子学......
学位
绝缘体上硅
耦合光栅
表面光滑化
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