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表面力测试装置相关论文
偏心扭摆式表面力测试装置的设计与调试
微机电系统(MEMS)作为微/纳米技术的一个分支具有广阔的科研和应用前景,由于特征尺度达到微米级,表面力成为影响其性能的主要因素,对......
学位
微机电系统
偏心扭摆结构
闭环控制
表面力测试装置
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