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表面吸附颗粒相关论文
利用表面活性剂有效去除ULSI衬底硅片表面吸附颗粒
利用表面活性剂特性,通过改变硅片和颗粒表面ζ-电势来改变硅片表面和颗粒间静电力极性,有效地控制硅片表面颗粒吸附状态长期处于易清......
期刊
表面吸附颗粒
表面活性剂
ULSI
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surfactant|
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