该文从热力学角度对ＬＰＥ中同时存在的Ｓｉ氧休与ＳｉＯ〈，２〉腐蚀的动态平衡过程进行了分析，探讨低温液相外延过程中防止硅氧化的技术条件，尝试采用Ａｕ／６０ｗｔ℅......