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发光二极管表面纳米再构技术的研究
本课题的研究以解决半导体发光二极管出光面的光反射问题为主要内容,研究并实验了LED出光面的粗化和出光面生长增透膜的方法。为了......
学位
发光二极管
表面纳米再构
光反射
出光面粗化
生长增透膜
ICP刻蚀
纳米掩膜
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