衬底与热丝距离相关硕士博士期刊学术论文 - 信丰网

衬底与热丝距离相关论文

HWCVD在玻璃衬底上沉积硅薄膜的研究

采用热丝化学气相沉积法在玻璃衬底上沉积硅薄膜，采用扫描电子显微镜、拉曼光谱分析表征样品的形貌和结晶性，较为系统地研究了硅烷浓......

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热丝化学气相沉积硅薄膜硅烷浓度衬底与热丝距离衬底温度 HWCVD silicon film concentration of silane dis

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