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大型精密转台高精度角度微驱动装置的研制
针对用于标定和检测的大型精密转台(要求其定位误差≤±0.5″),研制了高精度角度微驱动装置。介绍了转台的总体结构,给出了角度微......
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大型精密转台
角度微驱动装置
角位移转换机构
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