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谐振应变仪相关论文
在膜片上集成谐振应变仪三维微加工成硅压力传感器
<正> 引言谐振传感器利用了物理因素能够改变谐振频率的现象。谐振传感器与其它传感器相比具有优良的特性。例如高的重复性、分辨......
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谐振应变仪
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