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氮气氛下衬底负偏压预溅射对GaAs肖特基势垒性能的改善
本文研究了不同气氛下衬底负偏压预溅射对GaAs肖特基势垒特性的影响。我们发现,采用氮气氛下衬底负偏压预溅射新工艺能明显改善GaA......
期刊
GAASMESFET
肖特基势垒
负偏压溅射
Negative substrate bias presputteringGaAsSchottky barrier
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