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固体板背覆薄层特性的低频超声反演方法研究
薄层结构在微电子、自动化、航空航天等重要的工业领域中广泛存在,对薄层结构进行几何参数测量、声学参数定征以及组织结构和力学性......
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超声谱方
谐振频率对多层结构下背覆薄层厚度的反演检测
本文首先简单介绍了用于薄层检测的几种常用方法,并着重介绍了其中的超声谱方法;针对不同的研究对象,超声谱方法的不同应用各有利弊。......
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超声谱方
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