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超声键合性能相关论文
铜芯片纳米薄膜金属化层超声键合性能研究
随着IC向着高密度化、高速化和微细化的发展,传统的铝互连已经不能满足要求,取而代之的是铜互连技术,即铜芯片技术。铜互连可以提高芯......
学位
铜芯片
纳米薄膜金属化层
形貌结构
超声键合性能
电子束蒸镀
剪切强度
Cu芯片纳米薄膜金属化层超声键合性能及抗氧化性能研究
目前封装向小型化、高密度化和多芯片化发展,铝作为芯片上互连材料已不能满足要求,需要新的互连材料来满足半导体技术对操作速度和......
学位
铜互连
磁控溅射
纳米薄膜
抗氧化
超声键合性能
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