超灵敏度检漏相关论文
真空器件在微电子、半导体、航空航天、核工业、船舶、医疗卫生等行业得到广泛应用,器件封装时的漏率检测是质量控制的关键因素.当......
保证极低的漏率是生产高可靠、长寿命空间行波管的必要条件。本文针对空间行波管微小漏孔常发生堵塞的问题,结合空间行波管的实际......
为了解决长寿命、高可靠真空器件的封装检漏需求,研制出下限可达5×10-16Pa·m3/s的高精度超灵敏度检漏仪。当前基于动态分流原理......
