超纳米金刚石(Ultra-nanocrystalline diamond,UNCD)是一种晶粒尺寸小于20nm的新型纳米金刚石材料,具有极其光滑的表面、极低的表......

简要描述了CVD金刚石薄膜技术的发展历程。介绍了纳米特别是超纳米金刚石膜、CVD金刚石大单晶的技术特点及其应用。超纳米金刚石膜......

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采用微波等离子化学气相沉积技术,以CH4/H2/Ar为气源,通过调节O2流量,增强等离子体对非金刚石相的刻蚀能力,提高超纳米金刚石膜中......