超薄PtSi膜相关硕士博士期刊学术论文 - 信丰网

超薄PtSi膜相关论文

红外焦平面阵列用超薄PtSi/P-Si结构的优化

PtSi红外探测器用于红外探测具有极大优势，典型的应用主要是红外成象制导领域。其探测器量子效率、均匀性、可靠性很大程度上取决于......

学位

红外焦平面阵列量子效率纳米薄膜超薄Ptsi膜肖特基势垒

电阻法测试超薄膜厚度的研究

常规方法测试超薄膜的厚度存在很大困难。介绍一种测试约4nm PtSi厚度的电阻率法。先制备厚度约40nm的薄膜,测试出薄膜电阻率,再考......

期刊

超薄PtSi膜厚度测试尺寸效应 TEM晶格像

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