超高纯度SiC单晶相关硕士博士期刊学术论文

本文主要概述了高纯度SiC粉体、烧结体的制造方法及其制品,同时也涉及到了超高纯度SiC单晶的制造和应用.SiC材料纯度不仅与电、电......