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离子束刻蚀碲镉汞中转型宽度
用Ar+离子束在p型HgCdTe(碲镉汞)上刻蚀出不同体积的环孔,利用激光诱导电流方法测试转型后的n区宽度.研究发现,在相同的刻蚀条件下,n......
期刊
激光诱导电流
p型HgCdTe
Ar+离子束刻蚀
转型宽度
laser beam induced current
p-HgCdTe
At+ ion-beam
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