软硬混合磨料相关硕士博士期刊学术论文

单晶蓝宝石（α-Al2O3）以其优良的物理和化学性质已成为发光二极管（LED）的主要衬底材料。蓝宝石衬底的表面质量对外延生长的氮化物薄膜......