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轻元素掺杂相关论文
轻元素掺杂对铒在晶体硅中微观结构的影响
利用离子束背散射沟道技术分析测量了室温条件下轻元素杂质掺入Si:Er系统后,对铒在硅中微观结构的影响.初步结果显示,轻元素氧的掺......
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离子注入
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轻元素掺杂
铒
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