过渡区p层相关论文
采用射频等离子体增强化学气相沉积技术,利用二氧化碳（CO2）、氢气（H2）、硅烷（SiH4）和乙硼烷（B2H6）作为气源,制备出一系列p型氢化硅氧薄膜.......
研究了采用甚高频等离子体增强化学气相沉积(VHF-PECVD)技术沉积从微晶相向非晶相相变的过渡区p层,并将其作为电池的窗口层应用到......
