过渡金属薄膜相关硕士博士期刊学术论文 - 信丰网

过渡金属薄膜相关论文

等离子体增强原子层沉积技术制备过渡金属薄膜的研究进展

原子级的处理对应用于计算和数据存储的最先进的电子设备,以及与物联网、人工智能和量子计算相关的新兴技术正变得越来越重要。等......

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过渡金属薄膜等离子体增强原子层沉积低温 transition metal films PEALD low temperature

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