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过滤阴极真空电弧沉积(FCVA)相关论文
X光电子谱辅助Raman光谱表征N含量对非晶金刚石薄膜的结构影响
用过滤阴极真空电弧沉积系统制备掺N非晶金刚石(ta-C∶N)薄膜,通过在阴极电弧区和沉积室同时通入N2气实现非晶金刚石薄膜的N原子掺杂......
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ta-C∶N薄膜
过滤阴极真空电弧沉积(FCVA)
XPS
RAMAN光谱
Nitrogenated tetrahedral amorphous carbon(
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