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铋系氧化物薄膜的原子层沉积工艺及性质研究
铋原子以其6s2孤对电子以及具有共价键和金属键双重成键特性,决定了它具有一系列独特的物理化学性质。而氧化物又作为自然界存在最......
学位
原子层沉积
多晶膜
铋系氧化物
氧化铋
铝酸铋
二维纳米片
自催化
混合生长模式
空间位阻效应
近表面扩散
非单向变化
P-F发射
Debye弛豫
Bi-O偶极
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