选择性内蚀相关硕士博士期刊学术论文 - 信丰网

选择性内蚀相关论文

垂直腔面发射激光器中 GaAs/AlGaAs的选择性刻蚀技术研究

在氧化物限制型垂直腔面发射激光器制备中,刻蚀GaAs/AlGaAs时因异质型材料常出现选择性内蚀现象,这会直接影响后续的氧化工艺及电......

期刊

激光技术垂直腔面发射激光器 GaAs/AlGaAs 湿法刻蚀感应耦合等离子体刻蚀选择性内蚀镂空 laser technique vertical-cav

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