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酸增殖源相关论文
酸增殖源及其在化学增幅抗蚀剂体系中的应用
介绍了酸增殖机理、酸增殖源的种类、典型化合物在化学增幅抗蚀剂体系中的应用及对灵敏度的提高,提出在计算机直接制版版材研究中......
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酸增殖
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