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金刚石薄膜结构性能相关论文
RF—PECVD法制备类金刚石薄膜及其结构性能的研究
采用射频等离子增强化学气相沉积法,调节工艺参数在载玻片和单晶硅片上沉积类金刚石薄膜。采用RM2000型显微激光拉曼光谱仪对沉积......
学位
金刚石薄膜
金刚石薄膜结构性能
结构性能工艺参数
工艺参数
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