金属掺杂非晶碳薄膜相关硕士博士期刊学术论文 - 信丰网

金属掺杂非晶碳薄膜相关论文

高功率脉冲磁控溅射制备非晶碳薄膜研究进展

非晶碳薄膜主要由sp^3碳原子和sp^2碳原子相互混杂的三维网络构成,具有高硬度、低摩擦系数、耐磨损、耐腐蚀以及化学稳定性等优异......

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高功率脉冲磁控溅射非晶碳薄膜放电特征沉积速率反应性磁控溅射金属掺杂非晶碳薄膜

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