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金属有机化学气象外延相关论文
非极性GaN外延薄膜的低位错生长方法研究
目前,GaN材料已经广泛应用于电子器件和发光器件,比如高电子迁移率晶体管和发光二极管。通常大多数的GaN基器件用到的是沿着极性[000......
学位
非极性GaN
缺陷
金属有机化学气象外延
湿法腐蚀
SiNx插入层
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