利用 LP-MOCVD生长技术 ,采用 Zn(C2 H5) 2 作 Zn源和 CO2 作氧源 ,在 (0 0 0 2 )蓝宝石衬底上获得了沿 c轴取向高度一致的 Zn O单......

利用LP-MOCVD生长技术,采用Zn(C2H5)2作Zn源和CO2作氧源,在(0002)蓝宝石衬底上获得了沿c轴取向高度一致的ZnO单晶薄膜.通过对其吸......