金属汽相真空弧（ｍｅｔａｌ ｖａｐｏｒ ｖａｃｕｕｍ ａｒｃ，ＭＥＶＶＡ）离子源具有低温合成立方相ＳｉＣ（β－ＳｉＣ）的能力。经过高温退火，观察到含有立方相的ＳｉＣ埋层发生了明显的结构变化。对应于ＳｉＣ埋层......