金属硬质掩模相关硕士博士期刊学术论文 - 信丰网

金属硬质掩模相关论文

金属硬掩模一体化刻蚀过程中聚合物累积效应的研究及优化方法

阐述在诸多的双大马士革结构刻蚀工艺中,金属硬质掩模一体化刻蚀工艺是迄今为止最为先进的工艺,既能解决传统工艺中所固有的低介电......

期刊

集成电路制造一体化刻蚀金属硬质掩模累积效应聚合物等离子体

55nm CMOS金属硬质掩模铜互连技术中湿法清洗工艺的开发与改进

本文主要研究了55nm CMOS金属硬质掩模铜互连技术中湿法清洗工艺。在55nm工艺平台中,评估了三种清洗药液,第一种是胺基为基础的有......

学位

金属硬质掩模铜互连湿法清洗铜腐蚀球形缺陷有机残留

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