金属膜厚度测量相关硕士博士期刊学术论文 - 信丰网

金属膜厚度测量相关论文

亚纳米精度电涡流传感器的理论和设计研究

随着精密机械制造技术、半导体工业、微机械电子系统,机电一体化技术以及纳米技术的发展,对各种位移／振动测量传感器的要求越来越高......

学位

涡流传感器亚纳米分辨率等效模型有限元仿真探测线圈温度漂移材料选择性金属膜厚度测量

看过本文同时还关注