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金属诱导-准分子激光晶化相关论文
用金属诱导-准分子激光晶化法制备多晶硅薄膜
提出了一种新的晶化方法--金属诱导-准分子激光晶化法(MI-ELA).该方法在制备多晶硅(p-Si)薄膜中包括两个步骤:第一步是用镍金属诱......
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多晶硅薄膜
金属诱导-准分子激光晶化
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