制备了一种用于有源矩阵液晶显示的具有对称结构、较好I-V特性对称性和较高电流通断比的MIM薄膜二极管.采用了基于反应溅射的多层......

制备了一种用于有源矩阵液晶显示的Ｔａ－Ｔａ２Ｏ５－Ｔａ 结构ＭＩＭ 薄膜二极管。其中，作为介质层的Ｔａ２Ｏ５ 膜由不同成膜技术得到。采用原子力显微镜（ＡＦＭ）对Ｔａ２Ｏ５ 膜进行了表面......