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4H-SiC同质外延薄膜及其高压肖特基二极管器件研究
4H-SiC材料和高压4H-SiC肖特基二极管(SBD)器件具有优越的性能,在国民经济和军事等诸多领域有着广泛的应用前景,例如电力电子领域......
学位
化学气相淀积
4H-SiC同质外延
4H-SiC肖特基二极管
金-半接触
结终端技术
反向耐压
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