钛酸锶钡陶瓷靶相关硕士博士期刊学术论文 - 信丰网

钛酸锶钡陶瓷靶相关论文

（Ba0.67Sr0.33）TiO3陶瓷靶的制备和微观结构分析

探讨了射频磁控溅射用(Ba0.67Sr0.33)TiO3陶瓷靶的烧结工艺,并用电子探针和X射线粉晶衍射法对其成分和微观结构进行了分析.结果表......

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钛酸锶钡陶瓷靶烧结工艺射频磁控溅射微观结构 Ba_(0.67)Sr_(0.33))TiO_3 target sintering technology RF

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