钨系列产品相关硕士博士期刊学术论文

介绍了利用化学气相沉积(CVD)法制备钨系列产品(包括钨管、钨坩埚、钨异型件等纯钨产品和铜基/钨基/钼基/石墨基等涂层产品)的工艺......