钯-镍合金膜层相关硕士博士期刊学术论文 - 信丰网

钯-镍合金膜层相关论文

适用于微机电器件的钯-镍合金膜层的制备

以紫铜片为基体,采用脉冲电沉积方法制备了钯-镍合金膜层。选取占空比和脉冲频率作为变量,分别研究了占空比和脉冲频率对钯-镍合金......

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钯-镍合金膜层微机电器件孔隙率内应力 Pd-Ni alloy filmmicro-electro-mechanical devicesporosityin

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