钽蒸发源相关硕士博士期刊学术论文

真空蒸镀设备作为有机发光二极管（OLED）面板制程的“心脏”，目前完全依赖进口。该文简述真空蒸镀工艺原理及蒸镀设备中钽蒸发源的国内......