在Ｐｔ／Ｔｉ／ＳｉＯ＜，２＞／Ｓｉ和玻璃衬底上，用射频磁控方法在低温（２５０℃）下沉积薄膜，然后通过热退火得到了高度取向的ＰＺＴ（３０／７０）铁电薄膜及ＰＬＴ（２８／０／１００）多晶铁电薄膜。初步研究了溅射气压和......