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铁硅化物相关论文
退火温度对磁控溅射制备的β-FeSi2薄膜的影响
采用磁控溅射的方法,在高真空条件下,沉积金属Fe到Si(100)衬底上,然后通过真空退火炉在不同温度条件下对样品进行热处理,直接形成了β-Fe......
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铁硅化物
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Fe/Sicompound annealing temperaturel β-FeSi2film
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