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铜布钱相关论文

ULSI制备中Cu布线的CMP技术及抛光液的研究

对ULSI制备中铜布线技术作了系统的介绍，对CMP相关技术抛光机理、浆料的种类及成分均作了整体的分析和论述，并对目前存在问题及解决......

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集成电路抛光液多层互连结构化学机械抛光浆料 ULSI 铜布钱 copper interconnection CMP slurry

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