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铜镍薄膜相关论文
Ni/Si和Cu/Si薄膜系统的金属诱导非晶硅晶化研究
金属诱导非晶硅晶化是一种具有潜力的多晶硅薄膜制备方法。纳米尺寸下的金属/非晶硅薄膜系统的晶化现象,涉及到薄膜界面的扩散以及......
学位
金属诱导晶化
界面热力学
铜镍薄膜
多晶硅薄膜
快速退火
化学气相沉积
磁控溅射
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